鑫南光小編為大家介紹四川精密光刻機產(chǎn)品介紹:
一、主要用途:
本設備可對晶片、陶瓷片、玻璃片(圓片或方片)進行一次性曝光,特別適用于對聲表面波器件、光柵、分劃板、可控硅等的曝光,二極管、三極管、分立元件的**次光刻。
二、主要技術(shù)參數(shù) :
1.適用于對Φ4″以下只需一次曝光的各種基片進行曝光,基片厚度要求0~5mm。
2.光源采用200W直流汞燈,曝光頭光束不均勻性≤±6%(Φ100mm范圍以內(nèi))。
3.采用時間繼電器(可調(diào)節(jié))控制曝光頭的快門。
4.具有兩個真空密著承片臺(一個在曝光時,另一個可進行上下片的操作),根據(jù)用戶需求,我公司可制作圓形或方形真空密著承片臺。
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