G-30B4型高精密光刻機(jī)

產(chǎn)品介紹：

設(shè)備概述:

本設(shè)備為我公司專(zhuān)門(mén)針對(duì)各大、中、小型企業(yè)的使用特性而研發(fā)的一種高精密雙面光刻機(jī)，它主要用于中小規(guī)模集成電路、半導(dǎo)體元器件、聲表面波器件的研制和生產(chǎn),它具有生產(chǎn)效率高、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作維護(hù)方便等優(yōu)勢(shì)，本機(jī)不僅適合4英寸以下各型基片的曝光，也適合易碎片如砷化鉀、磷化銦等基片的曝光以及非圓形基片和小型基片的曝光。

主要構(gòu)成

主要由防震工作臺(tái)、高均勻性曝光頭、氣動(dòng)系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、真空管路系統(tǒng)、直聯(lián)式真空泵及附件箱等組成。

曝光頭及部件圖

主要功能特點(diǎn)

1. 適用范圍廣
適用于Φ100mm以下，厚度5mm以下的各種基片(包括非圓形基片)雙面一次曝光。
2. 結(jié)構(gòu)**
本設(shè)備配置有可實(shí)現(xiàn)真空硬接觸、軟接觸、微力接觸的真空密著機(jī)構(gòu)；具有真空掩膜版架、真空片吸盤(pán)。
3. 操作簡(jiǎn)便
本設(shè)備操作簡(jiǎn)單，調(diào)試、維護(hù)、修理等都非常簡(jiǎn)便。
4. 設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定、可靠
采用進(jìn)口電磁閥、按鈕、定時(shí)器；采用獨(dú)特的氣動(dòng)系統(tǒng)、真空管路系統(tǒng)和精密的機(jī)械

零件，使本機(jī)具有非常高的可靠性。
5. 特設(shè)功能
除標(biāo)準(zhǔn)承片臺(tái)外，還可以為用戶定制專(zhuān)用承片臺(tái)，來(lái)解決非圓形基片、碎片和底面不平 的基片造成的版片分離不開(kāi)所引起的版片無(wú)法對(duì)準(zhǔn)的問(wèn)題

主要技術(shù)指標(biāo)

1、曝光類(lèi)型：雙面；一次同時(shí)曝光(配置4″**壓水銀直流汞燈專(zhuān)用曝光頭)

2、曝光面積：Φ110mm；

3、曝光照度不均勻性：≤±4%；

4、曝光強(qiáng)度：≤7mw/cm2；

5、紫外光中心波長(zhǎng)：365nm；

6、曝光分辨率：2μm；

7、曝光方式：接觸式曝光；

8、掩模版尺寸：≤127×127mm；

9、基片尺寸：≤ Φ100 mm（或者100×100mm）;

10、基片厚度：≤5 mm；

11、曝光定時(shí)：0～999.9秒可調(diào)；